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熱風(fēng)循環(huán)烘箱在光刻中的應(yīng)用
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1。在硅片上涂覆光刻膠{+*/}。粘合劑或硅片放置在惰性氣體中進(jìn)行熱處理。該工藝旨在提高光刻膠與硅片之間的附著力，防止顯影時間的延長，防止?jié)窀g過程。使用粘合劑的防腐劑�！ ∈紫�，采用真空法從膠粘機(jī)上的硅天花板上抽油，將一定量的粘性光刻膠涂在幽靈表面，然后時間設(shè)定涂層的速度和旋轉(zhuǎn)速度。在離心力作用下，光刻膠表面均勻分散，去除多余的光刻膠，獲得一定厚度的光刻膠膜。膠厚控制膠的粘度和橡膠的速度，預(yù)干燥由于溶劑緩蝕劑作用，在80℃的硅片上，防腐劑是干的。微波爐是一種惰性氣體，干燥時間通常在15-30分鐘之間的光刻膠清除器。 3，掩碼對齊 由于集成電路的制造過程是一層的過程，所以每個層的位置不能移動。熱風(fēng)循環(huán)烘箱一般有加熱管，有循環(huán)風(fēng)機(jī)的烘箱都可稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，因?yàn)椴还芎嫦涫裁唇Y(jié)構(gòu)，風(fēng)向水平還是垂直，歸根到底都是熱風(fēng)在里面循環(huán)，所以都可通稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，如電熱鼓風(fēng)烘箱，對開門高溫滅菌烘箱等。掩模和晶片可以對齊在晶片上�！ �4，在硅片上光敏膠的掩模上曝光 高壓汞燈G線(436 Nm)或我們一行(波長365 nm)輻照，光刻膠的光刻膠與掩模圖形的光敏圖案相同！ 5，將硅片浸沒在特定顯影液中，溶解外露的部分，再將圖像復(fù)制到光刻膠上，顯影劑對顯影劑進(jìn)行顯影，烘干，使殘留的有機(jī)溶液光刻膠完全蒸發(fā)，形成的顯影劑。烘箱常常別人們應(yīng)用到很多物料的干燥，它的種類也有很多種，CT—C型系列熱風(fēng)循環(huán)烘箱就是烘箱的一種。你了解熱風(fēng)循環(huán)烘箱嗎？知道它有什么功能嗎？下面的文章為你簡單介紹下，希望大家更更好地了解，以便于在選擇的時候做出正確的選擇。
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